C'est au début des années 1990 que l'on commenca à voir apparaître
 
aux Etats-Unis les premiers microsystèmes qui visaient à associer
 
des circuits microélectroniques à différentes fonctions non
 
électroniques telles que la perception de l'environnement, le traitement
 
des données, la prise de décisision, la transmission des données
 
et le déclenchement d'une action. Aujourd'hui, un MEMS est un système
 
de volume inférieur à quelques mm3 qui intègre au moins l'une
 
des deux fonctions électrique, mécanique, biologique ou magnétique
 
suivantes : capteur et /ou traitement du signal et/ou actionneur et/ou alimentation
 
et/ou transmission. De plus en plus de secteurs industriels cherchent des systèmes
 
globaux, parfaitement intégrés qui incluent des capteurs, des actionneurs,
 
de l'intelligence et des systèmes fluidiques ; ainsi, les MEMS trouvent
 
ou trouveront place dans de très nombreuses applications pour l'Automobile,
 
le Biomédical, l'Espace, la Défense, l'Aéronautique, l'Energie,
 
l'Environnement, l'Informatique, lesTélécoms, l'Electrotechnique,
 
l'Habitat Intelligent, voire l'Electroménager. C'est un marché qui
 
devrait avoisiner les 30 milliards d'euros en 2002. Coordonnée et écrite
 
par l'un des experts européens du domaine, la présente étude
 
vise à traçer l'état de l'art le plus récent des MEMS
 
existants et en cours de développement dans les laboratoires industriels
 
et académiques tant en Europe, qu'en amérique du Nord et au Japon.
 
Elle recense les dernières données publiées sur les applications
 
et marchés correspondants. La présente étude vise à tracer l’état de l’art
 

 
le plus récent des MEMS et des MOEMS existants et en cours de développement
 

 
dans les laboratoires industriels et académiques tant en Europe, qu’en
 

 
Amérique du Nord et au Japon.

 

 
Après avoir fait une revue détaillée des derniers développements
 

 
technologiques observés au niveau international par Innovation 128 et son
 

 
réseau international

 

 
de correspondants, l’étude recense et synthétise les dernières
 

 
données économiques publiées sur les applications et marchés
 

 
correspondants.

INTRODUCTION

1. LES COMPOSANTS

1.1 Les matériaux

1.2 Les capteurs

1.3 Les actionneurs

1.3.1 microvalves

2. LES SOURCES D’ÉNERGIE

2.1 Les alimentations par sources extérieures

2.2 Les sources embarquées

3. LES TECHNOLOGIES-CLÉS

3.1 Microstéréolithographie

3.2 Le LIGA

3.3 Le procédé MIM (Metal Injection Molding)

3.4 Les procédés traditionnels

3.5 L’assemblage des MEMS et des MOEMS

4. LES PRODUITS MICROSYSTÈMES

4.1 Les MEMS

4.2 Les MOEMS

5. MARCHÉS ET APPLICATIONS

5.1 Transports

5.2 Espace

5.3 Défense

5.4 Biomédical et santé

5.5 Environnement

5.6 Industrie

5.7 Information et Communication

6. LES ACTEURS ET LEURS MARCHÉS

6.1 Programmes nationaux et transnationaux

6.2 Les fabricants et leur offre Produits

6.3 Données de marché

7. PERSPECTIVES : NOUVEAUX MARCHÉS ET TECHNOLOGIES ÉMERGENTES

CONCLUSION